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产品介绍
装置现有产能6000吨/年,接纳国际先进手艺和先进装备建成,现在产品质量稳固坚持在G5品级,行业领先,普遍应用于存储类、逻辑类和车载功率半导体芯片制造领域,AG尊龙产品乐成实现了外洋同类产品的国产化替换,突破了高品质电子化学品恒久以来一直被外洋垄断的时势。
电子级氢氟酸是微电子行业的要害性基础化工质料之一,是湿电子化学品中的一种,由于电子级氢氟酸的纯度和清洁度对集成电路的制品率、性能及可靠性都有着十分主要的影响,生产工艺手艺要求很高,现在主要依赖入口产品知足海内市场需求。在湿电子化学品领域,现在国际上公认的湿电子化学品质含量标准是SEMI国际标准,共分为五个品级,其中G5为最高品级。我国电子级氢氟酸生产厂家产品品级普遍较低,能够抵达半导体所用G4级及以上的企业包括我公司在内仅三家左右,其余两家为多氟多、中巨芯(原巨化股份),高端电子级氢氟酸国产化率低。
主要用途
在半导体领域,主要用于晶圆外貌洗濯、芯片加工历程中的洗濯和蚀刻等工序;在新型显示领域,主要用于玻璃基板洗濯、氮化硅、二氧化硅蚀刻等;在光伏太阳能电池领域,主要用于硅片外貌洗濯、蚀刻去边、洗濯制绒等环节。
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